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净化车间装配工程将来的成长和趋向

  

净化车间装配工程将来的成长和趋向

净化车间装配工程将来的成长和趋向

  净化车间安装工程未来的发展和趋势_环境科学/食品科学_工程科技_专业资料。纯臻净化 净化车间安装工程未来的发展和趋势 随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求,用水纯 化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎, 净化工程技术已开始进入千家万户, 纯臻净化 净化车间安装工程未来的发展和趋势 随着我国人民生活水平提高,人们对生存环境及生活质量提出了越来越高要求,用水纯 化设备制备的高纯水已受到人们普遍欢迎, 净化工程技术已开始进入千家万户, 进入人们的 现代生活。 洁净技术是近二、 三十年来随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。 洁净技术通常包括:空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂质控制 技术、洁净环境的监测技术及相关的环境质量的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航 空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学 领域中得到广泛应用。 我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比差距是明显的,我国 1965 年才开始生产的 HEPA 过滤器, 比国外晚了十五年。 1975 年开始生产的光散射尘埃粒子计数器比国外晚了二 十年。0.1 微米洁净技术和设备在国际上先进国家已成为成熟技术,我国则刚刚起步。 世界各工业先进国家为适应超净技术的发展,对大量使用的高效过滤器的研究从未中断, 几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品,美国自 1979 年开始研制 0.1 微米 ULPA 过 滤器,1984 年美国 AAF 公司开始生产 0.1 微米无隔板 ULPA 过滤器,目前 0.1 微米 ULPA 过滤器在美国 AAF 公司、FLANDERS 公司和 CAMBRIDGE 公司已形成商品化生产。日本 也已成为世界上生产 0.1 微米 ULPA 过滤器厂家最多的国家,品种繁多,邦内水处罚公司水处罚工夫常识污最新雇用产品系列化,尤其 是低压损型 0.1 微米 ULPA 过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。 国际市场对高效 空气过滤器的需求量很大,且每年均有增长,目前日本每年销售超过 100 万台,按每台平均 价格 200 美元计算,销售额达 2 亿美元。我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年 10 万 台,占国际市场的 2%~4%,但至今还没有 0.1 微米 ULPA 过滤器生产,用于超大规模集成 电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的 0.1 微米 ULPA 过滤器目前还要依赖进口。 在洁净室建设规模和技术水平上, 我国与先进国家差距更大。 日本清水建设公司一家, 1982 年到 1987 年期间承建的洁净室面积达 71.8 万平方米,而我国目前一年承建的洁净室总面积 还不到 10 万平方米,但八五期间有较大发展,1993 年承建洁净室总面积已接近 15 万平方 米。 美国的洁净室建设规模更大, 1998 年统计已达 188.5 万平方米。 在洁净工程技术水平上, 80 年代末期,国外已大量建成 0.1 微米级的超净室,1987 年日本三洋新泻工场建成十级洁 净厂房 3000 平方米,NIT 原木则建成了四个 1000 平方米控制 0.1 微米尘埃的千级厂房,换 气次数高达 300 次/分。美国在台湾的 TSMCS 新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达 10000 平方米。我国使用的 0,1 微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的 洁净室造价十分昂贵,0.1 微米十级洁净室每平方米造价高达 1 万美元以上。在大规模集成 电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例, 这与集成电路工艺不断更新, 产品更新 换代周期越来越快的发展趋势不相适应,严重制约了大规模集成电路技术的发展。美国 ASYST 公司、德国 MW 公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近 几年中得到广泛采用。 该项最新的洁净技术在 100 级洁净度的洁净厂房中, 采用工艺设备局 部使用隔离技术的微环境, 把投资比例压缩到高级别的微环境, 消除了操作者与工艺设备运 纯臻净化 行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。 洁净技术和装备的国际市场十分巨大,日本到 80 年代末、90 年代初洁净技术和设备的销售 额已突破 35 亿美元。美国和西欧等先进国家洁净设备和基础部件的销售额已达 73 亿美元。 据中国电子专用设备工业协会统计,我国主要八家最大的净化设备厂的销售额 1990 年为 8217 万元,还不足 1 亿,1993 年达到 14495 万元,占国际市场销售额的 0.34%。但随着我 国高新技术的迅速发展和微电子工业、 光纤工业、 液晶显示工业及光电器件工业、 生物工程、 医药工业的发展,我国潜在的巨大的洁净技术产品市场,以每年 40%~50%的增长速度在增 加。 净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路,而集 成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。 我国 “九五” 期间大力发展以微电子为重点的信息产业。 净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个 国家和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。

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